一种差压传感器
基本信息
申请号 | CN202022859091.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214426890U | 公开(公告)日 | 2021-10-19 |
申请公布号 | CN214426890U | 申请公布日 | 2021-10-19 |
分类号 | G01L13/06(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 刘同庆;林智敏 | 申请(专利权)人 | 无锡芯感智半导体有限公司 |
代理机构 | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李明;赵吉阳 |
地址 | 214000江苏省无锡市滨湖区建筑西路777号A10幢3层裙楼北侧 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供一种差压传感器,包括:相互组配的第一盖板和第二盖板,以及位于所述第一盖板和所述第二盖板之间的差压传感器主体部;其中,所述差压传感器主体部包括:基板,所述基板设置有容纳腔以及与所述容纳腔相连通的第三进压孔及第四进压孔;压力敏感芯片,所述压力敏感芯片位于所述容纳腔内,所述压力敏感芯片将所述容纳腔间隔为高压腔、低压腔;以及,所述高压腔与所述第三进压孔相连通,所述低压腔与所述第四进压孔相连通。本实用新型的差压传感器,体积小巧、结构简单,安装方便,便于用户信号调理并且极大的降低了成本。 |
