一种透镜型气体传感器
基本信息
申请号 | CN202011570165.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114689513A | 公开(公告)日 | 2022-07-01 |
申请公布号 | CN114689513A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
分类号 | G01N21/17(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 袁宇鹏;杨靖;张祖伟;何香君;李小飞 | 申请(专利权)人 | 中电科芯片技术(集团)有限公司 |
代理机构 | 重庆辉腾律师事务所 | 代理人 | - |
地址 | 400060重庆市南岸区花园路14号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及光声气体传感器技术领域,具体涉及一种透镜型气体传感器,包括:感测室、激励元件和检测元件,所述感测室为带孔的空腔结构,所述激励元件和所述检测元件设置于感测室内部。所述感测室的结构包含电路层基板和外壳;所述激励元件包含光源、滤光片和凸透镜,所述检测元件采用气体声学探测器件。本发明的微型化光声气体传感器同传统的光声气体传感器相比,灵敏度更高、测量精度更高、分辨力更高。 |
