一种用于丝锥表面制备TiCN涂层的方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种用于丝锥表面制备TiCN涂层的方法

基本信息

申请号	CN201811107113.6	申请日	-
公开（公告）号	CN109182984A	公开（公告）日	2019-01-11
申请公布号	CN109182984A	申请公布日	2019-01-11
分类号	C23C14/32;C23C14/06;C23C14/02	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	马胜利	申请（专利权）人	西安浩元航空科技有限公司
代理机构	西安恒泰知识产权代理事务所	代理人	李郑建
地址	710089 陕西省西安市阎良区国家航空高技术产业基地蓝天路5号独立厂房D座西北户
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种用于丝锥表面制备TiCN涂层的方法，将高速钢制成的丝锥经预处理后，放入电弧离子镀膜设备中的转架杆上，以Ti靶作为制备TiCN涂层的Ti元素来源，通过电弧电源的电流控制Ti靶的溅射率；采用高纯Ar作为主要离化气体，采用高纯N2和高纯CH2作为反应气体，使其离化并与Ti元素结合，在丝锥表面沉积形成TiCN涂层；所制备的TiCN涂层为多层结构，即Ti/TiN/TiCN/TiN/TiCN，总厚度为2微米，原子成分含量为Ti：52at.％，C：28at.％，N：20at.％，涂层硬度HV3000，在室温干摩擦和对副为GCr15条件下，销盘实验测出涂层的摩擦系数为0.15，具有优良的减摩性能，适合于在难加工材料进行攻丝加工的应用。