一种用于硬质合金旋转锉表面制备TiAlSiN涂层的方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种用于硬质合金旋转锉表面制备TiAlSiN涂层的方法

基本信息

申请号	CN201811106735.7	申请日	-
公开（公告）号	CN109182983B	公开（公告）日	2019-01-11
申请公布号	CN109182983B	申请公布日	2019-01-11
分类号	C23C14/32(2006.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	马胜利	申请（专利权）人	西安浩元航空科技有限公司
代理机构	西安恒泰知识产权代理事务所	代理人	李郑建
地址	710089陕西省西安市阎良区国家航空高技术产业基地蓝天路5号独立厂房D座西北户
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种用于硬质合金旋转锉表面制备TiAlSiN涂层的方法，将硬质合金制成的旋转锉预处理后放入电弧离子镀膜设备中的转架杆上，以TiAlSi合金靶作为涂层中Ti、Al、Si元素来源，通过电弧电源的电流控制靶的溅射率；采用Ti靶作为制备底层和过渡层的Ti元素来源，采用高纯Ar作为主要离化气体，采用高纯N2作为反应气体，使其离化并与Ti、Al、Si元素结合，在旋转锉表面沉积形成TiAlSiN涂层。该TiAlSiN涂层为三层结构，即Ti/TiN/TiAlSiN，涂层总厚度为3.0微米，化学成分含量为Ti：20at.％，Al：30at.％，Si：8at.％，N：42at.％。涂层硬度42GPa，在室温干摩擦和对副为GCr15条件下，销盘实验测出的TiAlSiN涂层的摩擦系数为0.65，结合力为HF1级，具有很好的结合力和耐磨损性能。