一种掺Ti的类金刚石涂层的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201210423173.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102925862B | 公开（公告）日 | 2014-04-30 |
| 申请公布号 | CN102925862B | 申请公布日 | 2014-04-30 |
| 分类号 | C23C14/22(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 马胜利 | 申请（专利权）人 | 西安浩元航空科技有限公司 |
| 代理机构 | 西安恒泰知识产权代理事务所 | 代理人 | 李郑建 |
| 地址 | 710089 陕西省西安市阎良国家航空高技术产业基地蓝天路5号独立厂房D座西北户 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种制备掺Ti的DLC涂层的方法，将预处理好的基体放入电弧与磁控溅射复合镀膜设备的转架杆上，以柱弧Ti靶作为Ti源，以平面C靶作为C的来源，平面C靶共三对，以均布的方式安置在炉体内壁上，采用高纯Ar作为主要离化气体，保证有效的辉光放电过程；采用高纯N2作为反应气体，使其离化并与Ti、C元素结合，在基体表面沉积形成掺Ti的DLC涂层。制备的该掺Ti的DLC涂层外观呈黑色，表面光滑致密，涂层的硬度28GPa，膜基结合力达到60N，涂层厚度为2.5μm，当摩擦副为Al2O3球时，涂层的干摩擦系数为0.2。表明掺Ti的DLC涂层具有良好的耐磨和减摩性能。 |
