AlTiN高速切削刀具涂层的制备方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

AlTiN高速切削刀具涂层的制备方法

基本信息

申请号	CN201210423182.4	申请日	-
公开（公告）号	CN102899613B	公开（公告）日	2014-06-18
申请公布号	CN102899613B	申请公布日	2014-06-18
分类号	C23C14/06(2006.01)I;C23C14/38(2006.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	马胜利	申请（专利权）人	西安浩元航空科技有限公司
代理机构	西安恒泰知识产权代理事务所	代理人	李郑建
地址	710089 陕西省西安市阎良国家航空高技术产业基地蓝天路5号独立厂房D座西北户
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种AlTiN高速切削刀具涂层的制备方法，将高速切削刀具预处理后放入电弧离子镀膜设备中的转架杆上，以矩形Ti靶作为底层的Ti来源，矩形Ti靶安置在炉体左内壁上，通过矩形靶电弧电源的电流控制矩形Ti靶的溅射率；以圆形AlTi靶作为制备AlTiN涂层的Al、Ti元素来源，圆形AlTi靶共三个，以均布的方式安置在炉体右内壁上，通过圆形AlTi靶电弧电源的电流控制AlTi靶的溅射率；采用高纯Ar作为主要离化气体，保证有效的辉光放电过程；采用高纯N₂作为反应气体，使其离化并与Al、Ti元素结合，在高速切削刀具表面沉积形成AlTiN涂层。该AlTiN涂层抗氧化温度可以达到900℃，具有优良的抗氧化性能。