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一种砷化镓研磨冷却水循环使用设备及其使用方法

基本信息

申请号 CN202010747294.X 申请日 -
公开（公告）号 CN114057315A 公开（公告）日 2022-02-18
申请公布号 CN114057315A 申请公布日 2022-02-18
分类号 C02F9/04（2006.01）I;C02F101/10（2006.01）N 分类 水、废水、污水或污泥的处理;
发明人 彭璐;赵克家;郭晓东 申请（专利权）人 山东浪潮华光光电子股份有限公司
代理机构 济南金迪知识产权代理有限公司 代理人 赵龙群
地址 261061山东省潍坊市市辖区高新区金马路9号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种砷化镓研磨冷却水循环使用设备及其使用方法，属于半导体废水处理技术领域。设备包括研磨设备、竖流式沉淀池、沉淀池A、沉淀池B、平流式沉淀池和过滤器，其中，研磨设备排水口连接至竖流式沉淀池，竖流式沉淀池通过絮凝剂添加器分别连接至沉淀池A和沉淀池B，沉淀池A和沉淀池B均连接至平流式沉淀池，平流式沉淀池通过水泵连接至过滤器，过滤器连接至研磨设备进水口。本发明实现冷却水的循环使用，有效降低总用水量，降低废水总量的产生，提高冷却水净化效率，同时避免砷化镓碎屑对研磨的速率、破片率产生不良影响。