一种砷化镓基LED管芯的制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202010747671.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114068767A | 公开（公告）日 | 2022-02-18 |
| 申请公布号 | CN114068767A | 申请公布日 | 2022-02-18 |
| 分类号 | H01L33/00（2010.01）I;H01L21/683（2006.01）I;H01L21/304（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L33/36（2010.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 徐晓强;程昌辉;吴向龙;闫宝华;王成新 | 申请（专利权）人 | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 济南金迪知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王素平 |
| 地址 | 261061山东省潍坊市市辖区高新区金马路9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种砷化镓基LED管芯的制作方法。该方法包括采用电流扩展层—P面电极—减薄—N面电极—切割的制作流程，其中在N面电极制作前将完成P面制作的晶片正面贴附上热解膜，N面电极完成后将热解膜去除，然后进行快速切割。本发明既避免使用切割保护液，又在切割时不会对芯片电极产生破坏，降低整体作业成本。 |
