一种多层平面电磁线圈驱动的MEMS变形镜及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201711115538.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107907991A | 公开（公告）日 | 2018-04-13 |
| 申请公布号 | CN107907991A | 申请公布日 | 2018-04-13 |
| 分类号 | G02B26/08 | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 谢海忠;孔庆峰;彭效冉 | 申请（专利权）人 | 明德之星（北京）科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京华旭智信知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 明德之星（北京）科技有限公司 |
| 地址 | 100086 北京市海淀区中关村大街45号兴发大厦45号1001-7 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种多层平面电磁线圈驱动的MEMS变形镜及制作方法，包括:硅衬底；在硅衬底上形成的多层线圈，每个线圈具有垫点和中心点；覆盖所述多层线圈的介电层；及在所述硅衬底上封装所述多层线圈的变形镜面，其中所述变形镜面包括：反射镜层，在反射镜层下表面上形成的介电层；在介电层的下表面的周边区域中形成Si层；以及在介电层的下表面的中心区域中形成的永磁性材料层；其中所述多层线圈的各层之间通过垫点和中心点进行接触，使得从硅衬底起由下而上依次排序，所述多层线圈的奇数层与偶数层之间通过中心点接触，偶数层与奇数层之间通过垫点接触；在第一层线圈的垫点上以及最后一层线圈的垫点或中心点上形成有与外部互联的两个焊点。 |
