一种腐蚀锗片的方法

基本信息

申请号 CN202110461579.1 申请日 -
公开(公告)号 CN113174597A 公开(公告)日 2021-07-27
申请公布号 CN113174597A 申请公布日 2021-07-27
分类号 C23F1/24(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 顾小英;赵青松;牛晓东;狄聚青 申请(专利权)人 清远先导材料有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 付丽
地址 511517广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种腐蚀锗片的方法,包括以下步骤:A)将厚度差在±0.025mm内的锗片固定在同一卡槽内,然后将所述放有锗片的卡槽置于腐蚀液中,进行腐蚀;所述腐蚀液为体积比为(2~5):1的硝酸和氢氟酸的混合液;B)待腐蚀液开始冒红烟,在腐蚀液中缓慢加入纯水,直至红烟变黄烟,继续腐蚀1~2min;C)使用纯水稀释腐蚀液,然后取出卡槽,清洗锗片并干燥。本发明在腐蚀液开始冒红烟的时候缓慢加入纯水,使反应前期锗片可快速反应,并防止反应后期温度过高、反应过于激烈而导致的锗片表面发黑。本发明中的方法在保证腐蚀效率的同时,解决了现有酸腐蚀中反应速率难以控制,锗片表面易发黑的技术问题。