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一种高纯度三氯化铟的制备系统

基本信息

申请号 CN202022732482.3 申请日 -
公开（公告）号 CN213976993U 公开（公告）日 2021-08-17
申请公布号 CN213976993U 申请公布日 2021-08-17
分类号 C01G15/00（2006.01）I;B01D7/00（2006.01）I;B01D7/02（2006.01）I 分类 无机化学;
发明人 徐成;刘华胜;郭高伟;周声万;戴曲柯 申请（专利权）人 清远先导材料有限公司
代理机构 广州三环专利商标代理有限公司 代理人 颜希文;管莹
地址 511517广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种高纯度三氯化铟的制备系统，包括套管、升华容器、凝华容器、升华控温结构和凝华控温结构；所述升华容器和凝华容器设于所述套管中，所述升华容器和凝华容器呈开口相对的试管状，且二者可拆卸式密闭连接；所述套管的两端具有投料口和出料口，所述投料口和出料口上设有阀门；所述升华控温结构设于所述升华容器所在处的套管外部，所述凝华控温结构位于所述凝华容器所在处的套管外部；所述套管上还连接有真空泵的接口，以及惰性气体或氮气的接口。本实用新型中的高纯度三氯化铟的制备系统，其可以获得更高纯度的无水三氯化铟，以便应用在IC行业中。