一种用于从ITO废靶中经升华提纯铟的回收靶结构
基本信息
| 申请号 | CN202022156069.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213142143U | 公开（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申请公布号 | CN213142143U | 申请公布日 | 2021-05-07 |
| 分类号 | F27D9/00(2006.01)I;C22B7/00(2006.01)I;C22B58/00(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 崔恒;葛春桥;柳春锡;金志洸;王梦涵 | 申请（专利权）人 | 中山智隆新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 广东科信启帆知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴少东 |
| 地址 | 528400广东省中山市板芙镇居委会板芙北路17号四海酒店A栋三楼D301（住所申报） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种用于从ITO废靶中经升华提纯铟的回收靶结构，包括冷却水管接口和回收靶体，所述冷却水管接口安装在回收靶体的外壁上，在进行工作时，将冷却水管连接于冷却水管接口，将排水管连接于出水管接口，然后，向冷却水管中输入冷水，由于冷却水管接口和出水管接口之间通过上部冷却槽和下部盘型槽相连通，这样确保冷却水能够顺利从冷却水管接口处流向到出水管接口处，形成循环，对回收靶体的内壁进行冷却，使得升华后的金属铟能够冷凝附着在回收靶体中进行收集，在工作结束后，取出回收靶体，由于回收靶体内部均匀涂有脱模剂层，方便对金属铟进行脱出，本实用新型能够快速且均匀的对回收靶体内壁进行冷却，具有很好的实用性能。 |
