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一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置

基本信息

申请号	CN202021958483.3	申请日	-
公开（公告）号	CN214234880U	公开（公告）日	2021-09-21
申请公布号	CN214234880U	申请公布日	2021-09-21
分类号	B07B1/04（2006.01）I;B07B1/50（2006.01）I;B08B1/04（2006.01）I	分类	将固体从固体中分离；分选;
发明人	葛春桥;崔恒	申请（专利权）人	中山智隆新材料科技有限公司
代理机构	深圳市海盛达知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	赵雪佳
地址	528459广东省中山市板芙镇居委会板芙北路17号四海酒店A栋三楼D301（住所申报）
法律状态	-

摘要

本实用新型属于IT0靶材装置技术领域，尤其为一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，包括收集槽和安装栏，所述收集槽的外侧安装有第一电机，且第一电机的外侧连接有第一转轮，所述第一转轮的外侧设置有传动带，且传动带的内侧设置有第二转轮，所述第二转轮的外侧连接有转动轴，且转动轴的外侧连接有过滤板，所述收集槽的内部设置有夹板，且夹板的内侧设置有第一弹簧，并且第一弹簧的上端连接有滑板，所述安装栏设置于收集槽的上方，且安装栏的上方安装有第二电机，所述第二电机的外侧连接有螺纹杆，且螺纹杆的外侧连接有移动板，所述移动板的下方连接有伸缩杆。该便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，具备废料收集功能，且可以对装置自身进行清理。