一种高纯度的IT0靶材生产用便于固定的烘干设备
基本信息
| 申请号 | CN202021984383.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213020777U | 公开（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申请公布号 | CN213020777U | 申请公布日 | 2021-04-20 |
| 分类号 | F26B25/00(2006.01)I;F26B11/18(2006.01)I;F26B25/18(2006.01)I | 分类 | 干燥; |
| 发明人 | 葛春桥;崔恒 | 申请（专利权）人 | 中山智隆新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市海盛达知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 赵雪佳 |
| 地址 | 528459广东省中山市板芙镇居委会板芙北路17号四海酒店A栋三楼D301（住所申报） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种高纯度的IT0靶材生产用便于固定的烘干设备，包括烘干设备本体和风机，所述烘干设备本体的外部上方安装有电机，且电机的下方固定有凹块，所述凹块的外部通过螺栓与凸块相连接，所述烘干设备本体的内部下方设置有滚珠，且滚轮的上方安装有圆形座，所述圆形座的上方设置有滚轮，且滚轮的外部安装有T形座。该高纯度的IT靶材生产用便于固定的烘干设备，与现有的普通烘干设备相比，能够很好的固定高纯度的IT靶材，防止高纯度的IT靶材在放置板上方随意晃动，避免影响加工质量，同时避免高纯度的IT靶材意外掉落，损坏高纯度的IT靶材，使得高纯度的IT靶材在烘干过程中和移动过程中有着很好的防掉落效果。 |
