一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构
基本信息
| 申请号 | CN202022156075.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213020919U | 公开（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申请公布号 | CN213020919U | 申请公布日 | 2021-04-20 |
| 分类号 | F27B5/05(2006.01)I;F27B5/14(2006.01)I;C22B7/00(2006.01)I;F27D1/18(2006.01)I;C22B58/00(2006.01)I;F27D9/00(2006.01)I | 分类 | 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕; |
| 发明人 | 崔恒;葛春桥;柳春锡;金志洸;王梦涵 | 申请（专利权）人 | 中山智隆新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 广东科信启帆知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴少东 |
| 地址 | 528400广东省中山市板芙镇居委会板芙北路17号四海酒店A栋三楼D301（住所申报） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构，包括底座和连接筒，所述连接筒的上端安装有底座，所述底座的上端设置有真空炉，所述真空炉的上端外壁上设置有冷却水管道，所述冷却水管道的下端外壁穿过真空炉并设置在真空炉的内部，所述真空炉内部的底座上端外壁上设置有真空仓门，所述真空仓门右侧的真空炉内部设置有加热棒，所述底座的上端内部设置有对位板，通过设计一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构，在提纯铟完成后能够将真空仓门从真空炉内部向上升起，能够很方便地将真空仓门内部的废料完整地取出，且在不使用时能够缩到真空炉的下端，不会在真空炉使用时存在在真空炉的内部对提纯造成影响。 |
