ITO废靶提铟装置的密封仓门结构
基本信息
| 申请号 | CN202022157726.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213391838U | 公开（公告）日 | 2021-06-08 |
| 申请公布号 | CN213391838U | 申请公布日 | 2021-06-08 |
| 分类号 | E06B5/10;E06B7/16;E06B7/30;E06B1/52;C22B7/00;C22B58/00 | 分类 | 一般门、窗、百叶窗或卷辊遮帘；梯子; |
| 发明人 | 崔恒;葛春桥;柳春锡;金志洸;王梦涵 | 申请（专利权）人 | 中山智隆新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 广东科信启帆知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴少东 |
| 地址 | 528400 广东省中山市板芙镇居委会板芙北路17号四海酒店A栋三楼D301（住所申报） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开ITO废靶提铟装置的密封仓门结构，包括仓门主体和负压吸附密封垫，所述仓门主体前端四周位置处设置有负压吸附密封垫，所述负压吸附密封垫包括固定圆孔、连接管道、固定密封垫和连接阀门，所述固定密封垫四周位置处设置有固定圆孔，所述固定密封垫内部位置处设置有连接管道，所述固定圆孔后端位置处设置有连接阀门，将仓门主体与固定框架进行贴合，然后利用旋转把手将固定装置与连接装置套接，这样就可以将抽气机通过管道与连接阀门进行连接，打开抽气机就可以通过连接管道将固定圆孔所接触到的空气全部吸走，使得负压吸附密封垫不在含有气体，让仓门主体与固定框架连接的更加紧密，密封性更强。 |
