晶圆装载装置及晶圆检测设备
基本信息
| 申请号 | CN202210437198.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114743912A | 公开（公告）日 | 2022-07-12 |
| 申请公布号 | CN114743912A | 申请公布日 | 2022-07-12 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 曾安;唐寿鸿;陈建强;朱充 | 申请（专利权）人 | 南京中安半导体设备有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京布瑞知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 210000江苏省南京市自由贸易试验区南京片区研创园团结路99号孵鹰大厦1836室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供一种用于晶圆检测的晶圆装载装置和晶圆检测设备，所述晶圆装载装置包括：导向部件，所述导向部件横向延伸；晶圆承载架，所述晶圆承载架设置为用于承载晶圆，所述晶圆承载架设置为能够沿导向部件在上料位置和对晶圆进行检测的检测位置之间移动；其中，在上料位置，晶圆承载架设置为能够在竖直状态和水平状态位置之间翻转，在竖直状态，晶圆承载架上的晶圆竖直设置且晶圆承载架能够沿导向部件移动到检测位置或从检测位置移出，在水平状态，晶圆承载架上的晶圆水平设置。本申请提供的技术方案，晶圆的装载简单，快速，能够有效提高晶圆的检测效率。 |
