气浮卡盘
基本信息
| 申请号 | CN202023200406.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214152867U | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN214152867U | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | H01L21/683（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 曾安 | 申请（专利权）人 | 南京中安半导体设备有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京布瑞知识产权代理有限公司 | 代理人 | 秦卫中 |
| 地址 | 210000江苏省南京市自由贸易试验区南京片区研创团结路99号孵鹰大厦1836室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型实施例提供了一种气浮卡盘。该气浮卡盘包括喷嘴部和气体通道部，其中，喷嘴部设置有多个支撑力喷嘴和多个导流孔，多个支撑力喷嘴用于在喷嘴部的顶部表面上形成气垫，多个导流孔用于引导从多个支撑力喷嘴喷出的第一气体遇到待测物后回流到喷嘴部；气体通道部包括与多个支撑力喷嘴连接的第一气体通道和与多个导流孔连接的第二气体通道，第一气体通道用于向多个支撑力喷嘴传输第一气体以提供支撑力的第一气体通道，第二气体通道用于使回流到喷嘴部的第二气体流出气浮卡盘。本实用新型实施例能够使气垫所支撑如晶圆之类的支撑物不受回流的第二气体的影响稳定悬浮在气垫远离喷嘴部的顶部表面的一侧。 |
