气浮卡盘及晶圆几何参数测量装置
基本信息
| 申请号 | CN202110396624.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113130368A | 公开（公告）日 | 2021-07-16 |
| 申请公布号 | CN113130368A | 申请公布日 | 2021-07-16 |
| 分类号 | H01L21/683（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈建强;曾安;唐寿鸿 | 申请（专利权）人 | 南京中安半导体设备有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京布瑞知识产权代理有限公司 | 代理人 | 秦卫中 |
| 地址 | 210000江苏省南京市自由贸易试验区南京片区研创园团结路99号孵鹰大厦1836室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种气浮卡盘及晶圆几何参数测量装置。该气浮卡盘包括由多孔材料组成的第一多孔层；进气层，与第一多孔层堆叠设置且与供应第一气体的第一气体供应部件连接，用于向第一多孔层传输第一气体以利用第一气体提供的支撑力使晶圆悬浮。本申请实施例能够利用气浮卡盘提供均匀的气浮条件，避免由于气流的不稳定或卡盘结构设计缺陷等原因造成晶圆很难稳定地悬浮在卡盘上方。 |
