卡盘、相移式干涉仪及晶圆形貌干涉测量方法
基本信息
| 申请号 | CN202210192266.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114608475A | 公开（公告）日 | 2022-06-10 |
| 申请公布号 | CN114608475A | 申请公布日 | 2022-06-10 |
| 分类号 | G01B11/24（2006.01）I;G01B9/02（2022.01）I;B25B11/00（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 唐寿鸿;曾安;陈建强;朱充 | 申请（专利权）人 | 南京中安半导体设备有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京布瑞知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 210000江苏省南京市自由贸易试验区南京片区研创园团结路99号孵鹰大厦1836室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种卡盘、相移式干涉仪及晶圆形貌干涉测量方法；其中，卡盘包括：阻尼块；支撑柱，支撑柱具有支撑端，以将晶圆承托在阻尼块的顶部；支撑端与阻尼块之间的距离能够保证晶圆下表面与尼块上表面之间的空气层厚度小于3mm。本申请提供的卡盘，设置有阻尼块和支撑柱，将晶圆放置在支撑端上，创新性的管控阻尼块上表面与晶圆下表面之间的空气层厚度，进而来管控晶圆振动的阻尼，进而有效降低了晶圆的振动，这样使得测量设备在充满噪音和地面震动等不安静的工业生产环境中也可完成晶圆形貌的纳米精度测量。 |
