成像平面空间的校正方法及其校正装置以及晶圆测量装置专利查询专利号|摘要-满商公司网

成像平面空间的校正方法及其校正装置以及晶圆测量装置

基本信息

申请号	CN202110839395.4	申请日	-
公开（公告）号	CN113516645A	公开（公告）日	2021-10-19
申请公布号	CN113516645A	申请公布日	2021-10-19
分类号	G06T7/00（2017.01）I;G06T5/00（2006.01）I;G06T7/62（2017.01）I;G06T7/70（2017.01）I	分类	计算；推算；计数;
发明人	唐寿鸿;曾安;陈建强	申请（专利权）人	南京中安半导体设备有限责任公司
代理机构	北京布瑞知识产权代理有限公司	代理人	秦卫中
地址	210000江苏省南京市自由贸易试验区南京片区研创园团结路99号孵鹰大厦1836室
法律状态	-

摘要

本申请实施例提供了一种成像平面空间的校正方法及其校正装置以及晶圆测量装置。该成像平面空间的校正方法包括获取N个开孔的几何中心对应的N个标准坐标，其中，N为正整数，N>1；利用干涉仪获取卡盘的顶部表面对应的图像；根据图像确定N个开孔的几何中心对应的N个测量坐标；根据N个标准坐标和N个测量坐标确定校正坐标；根据校正坐标校正图像以得到校正后的图像。本申请实施例基于卡盘的顶部表面上的N个开孔的几何中心对应的N个标准坐标，结合利用干涉仪获取的N个开孔的几何中心对应的N个测量坐标确定校正坐标，从而利用校正坐标对晶圆测量装置的成像平面空间进行校正，进而减小干涉仪所拍摄的图像中存在的畸变，减小了测量结果误差。