悬浮物的测量装置和气浮卡盘
基本信息
| 申请号 | CN202110396643.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113108715A | 公开（公告）日 | 2021-07-13 |
| 申请公布号 | CN113108715A | 申请公布日 | 2021-07-13 |
| 分类号 | G01B11/24（2006.01）I;G01B11/30（2006.01）I;G01B9/02（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 唐寿鸿;曾安;陈建强 | 申请（专利权）人 | 南京中安半导体设备有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京布瑞知识产权代理有限公司 | 代理人 | 秦卫中 |
| 地址 | 210000江苏省南京市自由贸易试验区南京片区研创园团结路99号孵鹰大厦1836室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请实施例提供了一种悬浮物的测量装置和气浮卡盘。该气浮卡盘包括悬浮部件，用于在悬浮部件的上表面形成气垫以使悬浮物悬浮，其中，气垫的上表面相对于水平面倾斜成预设角度以使悬浮物倾斜预设角度；至少一个阻挡部件，位于悬浮部件的侧边，用于阻挡悬浮物沿气垫的上表面的倾斜方向移动。本申请实施例能够使得悬浮物的位置固定，且能够避免悬浮物产生较大的应力而变形。 |
