哈特曼测量装置及其测量方法和晶圆几何参数测量装置
基本信息
| 申请号 | CN202210118747.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114543695A | 公开（公告）日 | 2022-05-27 |
| 申请公布号 | CN114543695A | 申请公布日 | 2022-05-27 |
| 分类号 | G01B11/16（2006.01）I;G01B11/24（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 陈建强;曾安;唐寿鸿 | 申请（专利权）人 | 南京中安半导体设备有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京布瑞知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 210000江苏省南京市自由贸易试验区南京片区研创园团结路99号孵鹰大厦1836室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种哈特曼测量装置及其测量方法和晶圆几何参数测量装置。该哈特曼测量装置包括光源准直部件和哈特曼波前传感器。光源准直部件用于将光源产生的光束准直以形成平行光束，并将平行光束直接或间接射向晶圆的待测表面；哈特曼波前传感器用于接收从晶圆的待测表面反射后的检测光束，并将检测光束转换成多个光点，以根据多个光点和多个光点对应的正入射光点之间的偏移量计算得到待测表面的翘曲度和形状。本申请的技术方案能够降低测量装置的结构复杂性和成本，且保证测量过程中不损伤晶圆的待测表面。 |
