光学膜厚测试仪
基本信息
申请号 | CN200820141227.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN201318934Y | 公开(公告)日 | 2009-09-30 |
申请公布号 | CN201318934Y | 申请公布日 | 2009-09-30 |
分类号 | G01B11/06(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 魏杨;薛尚清;张博;谢亮 | 申请(专利权)人 | 四川南光电气有限责任公司 |
代理机构 | 成都立信专利事务所有限公司 | 代理人 | 四川南光电气有限责任公司;成都南光机器有限公司 |
地址 | 610100四川省成都市成都经济技术开发区星光西路115号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型为光学膜厚测试仪,解决已有膜厚测试仪使用调节不便,稳定性差,精度差的问题。主输入信号依次经串联的差分放大器、陷波器、主信号放大器、低通滤波器和偏置叠加器输入模数转换器、模数转换器的输出接逻辑可编程器件,参考输入信号经参考信号处理电路输入逻辑可编程器件,逻辑可编程器件的输出与单片机连接,单片机与显示器连接。 |
