光学膜厚测试仪

基本信息

申请号 CN200820141227.8 申请日 -
公开(公告)号 CN201318934Y 公开(公告)日 2009-09-30
申请公布号 CN201318934Y 申请公布日 2009-09-30
分类号 G01B11/06(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 魏杨;薛尚清;张博;谢亮 申请(专利权)人 四川南光电气有限责任公司
代理机构 成都立信专利事务所有限公司 代理人 四川南光电气有限责任公司;成都南光机器有限公司
地址 610100四川省成都市成都经济技术开发区星光西路115号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型为光学膜厚测试仪,解决已有膜厚测试仪使用调节不便,稳定性差,精度差的问题。主输入信号依次经串联的差分放大器、陷波器、主信号放大器、低通滤波器和偏置叠加器输入模数转换器、模数转换器的输出接逻辑可编程器件,参考输入信号经参考信号处理电路输入逻辑可编程器件,逻辑可编程器件的输出与单片机连接,单片机与显示器连接。