膜厚测量光路系统
基本信息
| 申请号 | CN200820141226.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201307000Y | 公开（公告）日 | 2009-09-09 |
| 申请公布号 | CN201307000Y | 申请公布日 | 2009-09-09 |
| 分类号 | G01B11/06(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张博;薛尚清;谢亮;魏杨 | 申请（专利权）人 | 四川南光电气有限责任公司 |
| 代理机构 | 成都立信专利事务所有限公司 | 代理人 | 四川南光电气有限责任公司;成都南光机器有限公司 |
| 地址 | 610100四川省成都市成都经济技术开发区星光西路115号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型为膜厚测量光路系统，解决已有光路系统光通量小，调节度粗糙，调节不便的问题。连接于光源形腔(3)的光源升降调节机构(5)内有第一透镜，光源升降调节机构与机械调制盘(7)连接，真空腔(14)内有被测片(15)，真空腔(14)与光纤偶合器的第二对接法兰(16)连接，第二对接法兰与接收套(18)连接，锁紧螺套(17)固定接收套(18)于第二对接法兰(16)上，接收套(18)与光纤调整机构(19)连接，光纤调整机构内有第三透镜(43)，光源升降调节机构(5)、主升降调节机构(10)和光纤升降机构均有螺纹旋转调节机构，光路系统的通光口径(44)为28-35mm，光纤出射端(40)和单色仪入射端(41)为有光通过的狭缝。 |
