一种晶粒合档方法、装置、电子设备和存储介质
基本信息
| 申请号 | CN202111659304.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114345732A | 公开（公告）日 | 2022-04-15 |
| 申请公布号 | CN114345732A | 申请公布日 | 2022-04-15 |
| 分类号 | B07C5/04（2006.01）I;B07C5/36（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 将固体从固体中分离；分选; |
| 发明人 | 杨少刚;杨美高;蒋振斌 | 申请（专利权）人 | 深圳市八零联合装备有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 潘登 |
| 地址 | 518000广东省深圳市宝安区松岗街道楼岗社区大洋工业区南1号厂房104 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种晶粒合档方法、装置、电子设备和存储介质。该方法包括：根据预设分区尺寸将点测晶粒划分到至少两个区域块；在所述至少两个区域块中按照预设晶粒选择顺序将点测数据集和扫描数据集进行合档。本发明实施例，通过在至少两个区域块中按照预设晶粒选择顺序将点测数据集和扫描数据集进行合档，实现了晶粒数据的准确合档，降低设备的内存空间占用，提高了晶粒合档效率，从而提高了芯片生产的稳定性。 |
