沉积在基体表面的多层涂层系统及其制备方法

基本信息

申请号 CN202210082130.9 申请日 -
公开(公告)号 CN114517283A 公开(公告)日 2022-05-20
申请公布号 CN114517283A 申请公布日 2022-05-20
分类号 C23C14/06(2006.01)I;C23C14/32(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 邱联昌;高亚伟;谭卓鹏;史海东;聂丽灵;何珊;廖星文 申请(专利权)人 赣州澳克泰工具技术有限公司
代理机构 广州睿金泽专利代理事务所(普通合伙) 代理人 -
地址 341000江西省赣州市经济开发区工业三路
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供沉积在基体表面的多层涂层系统及其制备方法,包括多层涂层,所述多层涂层由第一涂层和第二涂层彼此交替沉积而成;所述第一涂层是具有(200)晶面择优取向生长的面心立方结构的钛铝氮化物(c‑Ti1‑xAlxN),所述第二涂层是具有(200)晶面择优取向生长的面心立方结构的钛铌氮化物(c‑Ti1‑aNbaN),且所述第一涂层与所述第二涂层之间形成共格生长界面。本发明的目的在于提供一种具有c‑Ti1‑aNbaN/c‑Ti1‑aNbaN的多层涂层系统及其制备方法,该涂层系统具有更高的硬度、耐磨性、抗粘性,以及更强的高温抗氧化性能和结合强度。