原子力显微镜探针、原子力显微镜及探针的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201810233689.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108845161B | 公开（公告）日 | 2020-05-12 |
| 申请公布号 | CN108845161B | 申请公布日 | 2020-05-12 |
| 分类号 | G01Q60/24 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 宋一鸣;马明;郑泉水 | 申请（专利权）人 | 深圳清力技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京中政联科专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈超 |
| 地址 | 518118 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区兰景中路16号国富文化创意产业厂区厂房A601 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种原子力显微镜探针、原子力显微镜及探针的制备方法。原子力显微镜探针包括探针本体和设置在探针本体的针尖一侧的接触体，接触体具有连接段和接触段，接触段具有接触端面；接触段为二维材料，且接触端面为原子级光滑且平整的单晶界面。本发明的原子力显微镜探针可精确地检测受测样品的各种性质。 |
