基于极坐标采样的交叉传递函数快速分解方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

基于极坐标采样的交叉传递函数快速分解方法

基本信息

申请号	CN201710820290.8	申请日	-
公开（公告）号	CN107644131A	公开（公告）日	2018-01-30
申请公布号	CN107644131A	申请公布日	2018-01-30
分类号	G06F17/50	分类	计算；推算；计数;
发明人	贡顶;沈忱;崔绍春;陈雪莲;鄢丽萍	申请（专利权）人	苏州珂晶达电子有限公司
代理机构	北京科亿知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	汤东凤
地址	215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道1355号国际科技园内B501单元
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种基于极坐标采样的交叉传递函数快速分解方法，其包括以下步骤：1)获取成像系统的光学参数；2)采用极坐标采样方法获得空间域上采样点的坐标(ri,θj)；3)通过非均匀傅里叶逆变换计算采样点对应的光源互强度函数及光瞳函数4)计算采样点对应空间域的交叉传递函数值并建立采样矩阵5)在空间域上建立一组正交基函数计算正交基函数在相应极坐标采样位置上的函数值并建立矩阵Q＝[q1,q2,…qk]；6)对矩阵Q进行QR矩阵分解7)计算投影矩阵并对投影矩阵P进行奇异值分解得到P＝UU*；8)获得空间域上交叉传递函数的核函数为本发明能够快速解析获得TCC核函数，使得光强分布计算快速而高效，从而满足实际的光刻工艺设计需求。