一种基于指示函数的交叉传递函数快速分解方法
基本信息
| 申请号 | CN201710820278.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107621757A | 公开（公告）日 | 2018-01-23 |
| 申请公布号 | CN107621757A | 申请公布日 | 2018-01-23 |
| 分类号 | G03F7/20;G06F17/14 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 贡顶;沈忱;崔绍春;陈雪莲;鄢丽萍 | 申请（专利权）人 | 苏州珂晶达电子有限公司 |
| 代理机构 | 北京科亿知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 汤东凤 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道1355号国际科技园内B501单元 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于指示函数的交叉传递函数快速分解方法，其包括：1)获取成像系统的光源函数J(f,g)；2)将描述光源的区域Ω进行划分得到一组正交子区域Ωij，并用正交子区域上的指示函数Iij(f,g)描述所述光源函数J(f,g)；3)计算所述指示函数Iij(f,g)的傅里叶逆变换，获得空间上域的基函数Lij(x,y)，并将空间域上的光源互强度函数投影到一组基函数上，获得对光源互强度函数的分解；4)建立空间域上的交叉传递函数的核函数c；5)计算核函数与掩膜板图形的卷积，获得像平面上的曝光图案本发明利用正交区域上的指示函数Iij(f,g)表述光源函数，利用指示函数的正交关系，及光源的投影系数直接获得光源互强度函数的分解，容易获得交叉传递函数的核函数使得光强分布计算快速而高效。 |
