一种离子注入模型的参数提取方法
基本信息
| 申请号 | CN201811609198.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109753709A | 公开（公告）日 | 2019-05-14 |
| 申请公布号 | CN109753709A | 申请公布日 | 2019-05-14 |
| 分类号 | G06F17/50 | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 张泽龙 | 申请（专利权）人 | 苏州珂晶达电子有限公司 |
| 代理机构 | 北京科亿知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 汤东凤 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道1355号国际科技园内B501单元 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种离子注入模型的参数提取方法，其将蒙特卡罗仿真模型的数值仿真结果以注入深度‑离子浓度的形式导出得到散点数据，并形成曲线，针对单峰曲线，将其分为4段区域，并针对其中第一、二区域采用联合半高斯拟合，针对第三、四区域采用尾函数与联合半高斯函数的线性组合进行拟合；针对双峰曲线，将其分为5段区域，并针对第一、二、四、五区域采用联合半高斯函数拟合，针对第三区域采用两个联合半高斯函数的组合函数进行拟合，大大提高了离子注入模型的拟合精度。 |
