一种干刻下部电极加工用治具板
基本信息
| 申请号 | CN202122087494.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215600338U | 公开（公告）日 | 2022-01-21 |
| 申请公布号 | CN215600338U | 申请公布日 | 2022-01-21 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01J37/32（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张立祥;洪远周 | 申请（专利权）人 | 苏州众芯联电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市汇诚永信专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王春丽 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市吴中区甪直镇迎宾西路988号6幢101-102-201-202室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种干刻下部电极加工用治具板，包括用于放置电极的治具板；所述治具板表面包覆有一层塑料薄膜，所述治具板上等距开设有若干固定电极的定位孔，所述治具板宽度方向的两侧边设置有若干用于行车吊装的挂钩，所述治具板四周侧边还设置有若干便于卡尺测量电极高度的高度测量凹槽。本实用新型保护电极在机加工过程中不受变形和损伤，保证在机加工后电极表面的平整度，避免电极在后续使用过程中出现氦气泄漏的问题。 |
