一种陶瓷材料及其耐等离子涂层的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110876412.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113501727A | 公开（公告）日 | 2021-10-15 |
| 申请公布号 | CN113501727A | 申请公布日 | 2021-10-15 |
| 分类号 | C04B41/87（2006.01）I | 分类 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 发明人 | 张立祥;赵凯 | 申请（专利权）人 | 苏州众芯联电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市汇诚永信专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王春丽 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市吴中区甪直镇迎宾西路988号6幢101-102-201-202室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种陶瓷材料及其耐等离子涂层的制备方法，所述陶瓷材料由以下元素的氧化物粉末混合而成，所述元素包括Y、W、Mg、Si、Al和Zr，所述元素按原子数量计含量为：50～70％的Y、5～15％的W、5～10％的Mg、5～10％的Si、5～10％的Al和5～15％的Zr，所述元素的氧化物粉末的直径为10～100μm。使用所述陶瓷材料制备的耐等离子涂层，有更好的延展性、致密性，且有更强的耐等离子侵蚀的性能，从而可以显著延长设备部件在芯片和面板加工过程中的使用寿命，有效降低芯片和面板工厂在采购设备配件上的成本。 |
