一种具有致密浮点表面结构的下部电极及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202111220383.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113917720A | 公开（公告）日 | 2022-01-11 |
| 申请公布号 | CN113917720A | 申请公布日 | 2022-01-11 |
| 分类号 | G02F1/13（2006.01）I;H01L51/56（2006.01）I;H01L51/52（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 张立祥;赵凯 | 申请（专利权）人 | 苏州众芯联电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市汇诚永信专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王春丽 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市吴中区甪直镇迎宾西路988号6幢101-102-201-202室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种具有致密浮点表面结构的下部电极及其制作方法，包括下部电极，下部电极的电极表面四周设置周边凸起，在周边凸起范围内还设置有呈阵列分布的浮点，浮点之间的间距为0.25‑2mm。通过在下部电极表面设置致密的浮点结构，可以改善冷却气体流通的均匀性，从而改善其对玻璃基板的冷却效果的均匀，减少在玻璃基板上形成印痕的情况。同时通过使用这种制作方法，能在下部电极上设置间距更小的浮点阵列，保证冷却气体的流通性，继而提高对玻璃基板的冷却效果。 |
