固晶设备

基本信息

申请号 CN202110522689.4 申请日 -
公开(公告)号 CN113314440A 公开(公告)日 2021-08-27
申请公布号 CN113314440A 申请公布日 2021-08-27
分类号 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 胡新平 申请(专利权)人 深圳新益昌科技股份有限公司
代理机构 深圳中一联合知识产权代理有限公司 代理人 贺鹏
地址 518000广东省深圳市宝安区福永街道和平路锐明工业园C8栋
法律状态 -

摘要

摘要 本申请提供了一种固晶设备,包括机架、支架供料组件、支架移载组件、晶环供料组件、晶环旋转组件、顶晶组件、晶环移载组件、翻转组件、固晶吸嘴和固晶摆臂组件。通过支架供料组件和支架移载组件可将支架移送至固晶位;通过晶环供料组件和晶环移载组件可将晶环移送至晶环旋转组件上;通过翻转组件可拾取由顶晶组件顶出的芯片,并可将芯片转动180度,使芯片被顶晶组件抵顶的一面置上;通过固晶吸嘴可将芯片被顶晶组件抵顶的一面吸附,并在固晶摆臂组件的驱动下将芯片移送至固晶位。当芯片被顶晶组件抵顶的一面划伤时,由于翻转组件将芯片转动180度,芯片未被顶晶组件划伤的一面与支架贴合,从而可保证芯片的功能,提高固晶效果。