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固晶设备

基本信息

申请号 CN202120327584.9 申请日 -
公开（公告）号 CN214254356U 公开（公告）日 2021-09-21
申请公布号 CN214254356U 申请公布日 2021-09-21
分类号 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 黄岗 申请（专利权）人 深圳新益昌科技股份有限公司
代理机构 深圳中一联合知识产权代理有限公司 代理人 徐汉华
地址 518000广东省深圳市宝安区福永街道和平路锐明工业园C8栋
法律状态 -

摘要

摘要 本申请提供了一种固晶设备，包括机架、支架上料机构、支架移载机构、晶环上料机构、晶环旋转机构、顶晶机构、晶环移载机构和固晶摆臂机构。通过多个固晶集成单元，于各固晶集成单元中，支架移载机构的两侧分别设置有两个晶环供料单元。固晶时，支架上料机构将支架移送至第一个支架移载机构，第一个支架移载机构两侧的晶环供料单元可分别对支架的两个位置进行固晶；随后，第一个支架移载机构将该支架移送至下一个固晶集成单元的支架移载机构上，位于第二个支架移载机构两侧的晶环供料单元可分别对支架的另外两个位置进行固晶，支架每经过一个固晶集成单元时，都有两个位置被固晶；支架由多个固晶集成单元进行固晶，固晶效率得到极大提升。