固晶机

基本信息

申请号 CN202110153582.7 申请日 -
公开(公告)号 CN112928052B 公开(公告)日 2021-10-01
申请公布号 CN112928052B 申请公布日 2021-10-01
分类号 H01L21/677(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 胡新平 申请(专利权)人 深圳新益昌科技股份有限公司
代理机构 深圳中一联合知识产权代理有限公司 代理人 徐汉华
地址 518000广东省深圳市宝安区福永街道和平路锐明工业园C8栋
法律状态 -

摘要

摘要 本申请提供了一种固晶机,包括机架、支架供料组件、支架移载组件、晶环供料组件、晶环旋转组件、顶晶组件、晶环移载组件、吸嘴、固晶摆臂组件、吸嘴收供组件和收料组件。通过支架供料组件可将支架供应至支架移载组件上,通过晶环移载组件可将晶环供料组件上的晶环移送至晶环移载组件上,并将晶环旋转组件上使用后的晶环移除,通过顶晶组件可将晶环上的晶片顶出至供晶位,通过吸嘴及固晶摆臂组件可将供晶位处的晶片移送至支架移载组件上,完成晶片与支架的固晶作业。通过晶环移载组件可实现晶环上料与下料的同步作业,减少了晶环上下料的等待时长,有助于提高固晶效率。而且,通过吸嘴收供组件可实现对吸嘴的自动更换作业,省时省力,效率高。