精准固晶装置

基本信息

申请号 CN202110727174.8 申请日 -
公开(公告)号 CN113471126A 公开(公告)日 2021-10-01
申请公布号 CN113471126A 申请公布日 2021-10-01
分类号 H01L21/68(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 胡新平;梁志宏 申请(专利权)人 深圳新益昌科技股份有限公司
代理机构 深圳中一联合知识产权代理有限公司 代理人 徐汉华
地址 518000广东省深圳市宝安区福永街道和平路锐明工业园C8栋
法律状态 -

摘要

摘要 本申请提供了一种精准固晶装置,包括:扩膜供晶机构;校正机构,用于旋转校正晶片的角度;焊头机构,用于将扩膜供晶机构供给的晶片移送至校正机构进行角度校正,再将校正后的晶片移送安装于支架上;以及,镜头机构,用于提供视觉定位。本申请通过校正机构对晶片的角度进行校正,以便能够精准固晶,提升固晶的准确性与精度;另外,还可以减轻固晶绑头的重量与复杂度,降低固晶绑头的成本,以及提升固晶绑头固晶效率与准确性;通过镜头机构提供视觉定位,以使扩膜供晶机构定位供给晶片,使所述校正机构精准校正,以及便于焊头机构准确吸取晶片并安装于支架上,以保证固晶精度与固晶品质。