晶元搜索方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质

基本信息

申请号 CN202110700883.7 申请日 -
公开(公告)号 CN113426714A 公开(公告)日 2021-09-24
申请公布号 CN113426714A 申请公布日 2021-09-24
分类号 B07C5/36(2006.01)I;B07C5/342(2006.01)I;G06T7/00(2017.01)I;G06T7/70(2017.01)I 分类 将固体从固体中分离;分选;
发明人 周赞 申请(专利权)人 深圳新益昌科技股份有限公司
代理机构 深圳中一联合知识产权代理有限公司 代理人 梁立耀
地址 518000广东省深圳市宝安区福永街道和平路锐明工业园C8栋
法律状态 -

摘要

摘要 本申请提供一种晶元搜索方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质,用于提高晶元搜索效率。该方法包括:获取晶圆的晶圆图及基准点的第一位置信息,晶圆图包含每个晶元的索引参数及位置参数,第一位置信息为基准点在扩充蓝膜前的位置信息;根据基准点的第一位置信息、索引参数和位置参数,生成晶元分布地图,晶元分布地图包括每个晶元相对于基准点的位置分布信息;根据第一位置信息和第二位置信息,确定扩充蓝膜前后的第一基准点距离变化量,第二位置信息为基准点在扩充蓝膜后的位置信息;根据第一基准点距离变化量对晶元分布地图进行修正,得到修正后的晶元分布地图;根据修正后晶元分布地图和执行设备的当前位置,确定最优路径和待吸取晶元。