晶元搜索方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质
基本信息
申请号 | CN202110700883.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113426714A | 公开(公告)日 | 2021-09-24 |
申请公布号 | CN113426714A | 申请公布日 | 2021-09-24 |
分类号 | B07C5/36(2006.01)I;B07C5/342(2006.01)I;G06T7/00(2017.01)I;G06T7/70(2017.01)I | 分类 | 将固体从固体中分离;分选; |
发明人 | 周赞 | 申请(专利权)人 | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
代理机构 | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 梁立耀 |
地址 | 518000广东省深圳市宝安区福永街道和平路锐明工业园C8栋 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本申请提供一种晶元搜索方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质,用于提高晶元搜索效率。该方法包括:获取晶圆的晶圆图及基准点的第一位置信息,晶圆图包含每个晶元的索引参数及位置参数,第一位置信息为基准点在扩充蓝膜前的位置信息;根据基准点的第一位置信息、索引参数和位置参数,生成晶元分布地图,晶元分布地图包括每个晶元相对于基准点的位置分布信息;根据第一位置信息和第二位置信息,确定扩充蓝膜前后的第一基准点距离变化量,第二位置信息为基准点在扩充蓝膜后的位置信息;根据第一基准点距离变化量对晶元分布地图进行修正,得到修正后的晶元分布地图;根据修正后晶元分布地图和执行设备的当前位置,确定最优路径和待吸取晶元。 |
