一种晶圆检测用探针卡
基本信息
| 申请号 | CN202021386917.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213750021U | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN213750021U | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | G01R1/067（2006.01）I;G01R31/26（2014.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 方琼慧;王政雄 | 申请（专利权）人 | 联立（徐州）半导体有限公司 |
| 代理机构 | 苏州创策知识产权代理有限公司 | 代理人 | 范圆圆 |
| 地址 | 221000江苏省徐州市经济技术开发区清洁技术产业园服务中心213室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆检测用探针卡，包含有承载整体结构的加固物、设置在加固物上的采用环氧树脂制成的固定块、设置在所述固定块上的探针和套设在探针上的绝缘针套。通过在针体上套设一绝缘针套，实现对检测过程中的探针记性缓冲，减少针体受到的磨损，达到延长针体的使用寿命和保证检测质量的目的。 |
