一种晶圆凸块推拉力测试机
基本信息
| 申请号 | CN202020174267.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212340852U | 公开（公告）日 | 2021-01-12 |
| 申请公布号 | CN212340852U | 申请公布日 | 2021-01-12 |
| 分类号 | G01N3/10(2006.01)I;G01N3/12(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 戴传勇 | 申请（专利权）人 | 联立（徐州）半导体有限公司 |
| 代理机构 | 苏州创策知识产权代理有限公司 | 代理人 | 联立（徐州）半导体有限公司 |
| 地址 | 221000江苏省徐州市经济技术开发区清洁技术产业园服务中心213室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆凸块推拉力测试机，属于晶圆推拉力测试技术领域，包括顶架、下夹具组件、升降锁紧组件和底座，所述顶架的下端设置有升降锁紧组件，所述升降锁紧组件的一侧连接有横板，所述横板的上端固定有下夹具组件，本实用新型通过在内管两两之间连接一侧凿有凹槽的连接板，外管外侧连接的握把一侧嵌接有插杆，插杆一端固定的插块嵌入凹槽内，这种结构配合伸缩弹簧初始情况插块刚好卡入凹槽内的情况能够实现对升降停止后的缩紧，支撑座的侧壁贯穿上端凿有定位槽的活动杆，上端与把手转动连接的调节螺杆嵌入定位槽内，这种结构能够实现对压板间距的调整，进一步实现对不同尺寸晶圆凸块的固定。 |
