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机械手用末端执行机构、机械手与晶圆搬运装置

基本信息

申请号 CN202110419511.7 申请日 -
公开（公告）号 CN113119144A 公开（公告）日 2021-07-16
申请公布号 CN113119144A 申请公布日 2021-07-16
分类号 B25J15/00（2006.01）I;B25J15/08（2006.01）I;B25J11/00（2006.01）I 分类 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手;
发明人 叶晓通;黄晶;黄国辉 申请（专利权）人 深圳众为兴技术股份有限公司
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人 谢岳鹏
地址 518000广东省深圳市南山区艺园路马家龙田厦产业园（原27栋-29栋）5-001室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种机械手用末端执行机构、机械手与晶圆搬运设备，其中，末端执行机构包括支座、手指组件、第一丝杆以及驱动组件，手指组件包括并列设置的第一手指和第二手指，第一手指与第二手指均滑动连接于支座，第一手指与第二手指均用于晶圆的承载；第一丝杆转动连接支座，第一丝杆包括第一段和第二段，第一段与第二段均设置有螺纹，两个螺纹的螺旋方向相反，其中，第一手指螺纹连接于第一段，第二手指螺纹连接于第二段；驱动组件与第一丝杆相连接，用于驱动第一丝杆转动。通过采用上述方案，即保证了晶圆的输送效率，又保证了末端执行机构适用不同层间距的放置盒。