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2CL91型部件的ME处理工艺

基本信息

申请号 CN201811249196.2 申请日 -
公开（公告）号 CN109454051B 公开（公告）日 2021-07-23
申请公布号 CN109454051B 申请公布日 2021-07-23
分类号 B08B3/04（2006.01）I;B08B3/12（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I 分类 清洁;
发明人 严建萍 申请（专利权）人 南通皋鑫电子股份有限公司
代理机构 北京汇信合知识产权代理有限公司 代理人 孙腾
地址 226500江苏省南通市如皋市如城中山西路82号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种2CL91型部件的ME处理工艺；其采用ME处理装置对2CL91型部件进行ME处理，所述的ME处理装置包括分体设置的干燥装置、若干纯水槽、超声波清洗槽、第一丙酮槽、第二丙酮槽、第一KOH槽、第二KOH槽、ME模具；所述的ME处理装置还包括分体设置的ME模具托架，所述的ME模具固定在ME模具托架上；所述ME处理工艺包括如下步骤：（1）操作准备；（2）ME处理；（3）烘干。设计合理，构思巧妙，改进了ME模具托架，解决了传统模具托架固定时不可以根据模具调整、灵活性较差的问题，且2CL91型部件经ME处理后、管芯折断减少，提高了合格率。