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气压传感器及制备方法

基本信息

申请号 CN202110989154.8 申请日 -
公开（公告）号 CN113701937A 公开（公告）日 2021-11-26
申请公布号 CN113701937A 申请公布日 2021-11-26
分类号 G01L9/12（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 田野;程传同 申请（专利权）人 苏州微光电子融合技术研究院有限公司
代理机构 苏州三英知识产权代理有限公司 代理人 朱如松
地址 215200江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道558号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了气压传感器及制备方法，其中气压传感器包括高阻衬底；形成于高阻衬底上的源极电极、漏极电极和栅极电极，源极电极以及漏极电极限定于高阻衬底同一侧，栅极电极限定于高阻衬底上与源极电极同一侧或栅极电极限定于高阻衬底上相对于源极电极的另一侧；设置到源极电极和漏极电极的石墨烯薄层结构；高阻衬底与石墨烯薄层结构之间形成有腔室。本发明的气压传感器充分利用石墨烯谐振器的优良特性，实现气压的高精度测量。