一种石墨烯辅助氧化钒热光调制器及其制备工艺
基本信息
| 申请号 | CN202110286262.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113064289A | 公开（公告）日 | 2021-07-02 |
| 申请公布号 | CN113064289A | 申请公布日 | 2021-07-02 |
| 分类号 | G02F1/01;C23C14/00;C23C14/08;C23C14/18;C23C14/35;C23C14/58 | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 黄北举;程传同;陈弘达 | 申请（专利权）人 | 苏州微光电子融合技术研究院有限公司 |
| 代理机构 | 苏州三英知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄晓明 |
| 地址 | 215200 江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道558 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种石墨烯辅助氧化钒热光调制器及其制备工艺，包括衬底，在衬底表面形成的第一绝缘层，在第一绝缘层上布置的石墨烯层，在石墨烯层上方形成的第二绝缘层，所述石墨烯辅助氧化钒热光调制器还包括通过光刻或者沉积于石墨烯层上的金属电极以及通过磁控溅射、反应离子溅射或者沉积金属再氧化的方式设置于第二绝缘层上面的氧化钒薄膜层。本发明的优势在于充分利用石墨烯和氧化钒的优良特性，实现小尺寸、低插损、高消光比、工作波长范围宽的特点。 |
