一种基于压电控制阀的MEMS质量流量控制器及控制方法
基本信息
| 申请号 | CN202110356196.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113190050A | 公开（公告）日 | 2021-07-30 |
| 申请公布号 | CN113190050A | 申请公布日 | 2021-07-30 |
| 分类号 | G05D7/06;B81B7/02 | 分类 | 控制；调节; |
| 发明人 | 胡国庆;田伟 | 申请（专利权）人 | 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 青岛华慧泽专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘娜 |
| 地址 | 266100 山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园B座402室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于压电控制阀的MEMS质量流量控制器及控制方法，包括壳体以及位于壳体内部的质量流量传感器和压电膜片，所述壳体包括下基板、上盖板以及由二者围成的气流通道；所述质量流量传感器设置在下基板上靠近气流通道的入口一侧；所述压电膜片设置在下基板上靠近气流通道的出口一侧；所述压电膜片两端设置于下基板上，所述压电膜片中部与下基板之间设有振动空隙。本发明利用质量流量传感器对气体流量进行精确测量并实时反馈，作为压电膜片驱动电压的调节依据，进而可利用压电膜片的形变实现对微小流量的高精度控制；此外，本发明具有结构简单、体积小、成本低、制备可控性强等优点。 |
