一种高灵敏度MEMS流量传感器芯片
基本信息
| 申请号 | CN202010979042.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112146717A | 公开（公告）日 | 2020-12-29 |
| 申请公布号 | CN112146717A | 申请公布日 | 2020-12-29 |
| 分类号 | G01F1/684;G01F1/688 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 胡国庆 | 申请（专利权）人 | 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 青岛华慧泽专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 |
| 地址 | 266100 山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园B座402室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种高灵敏度MEMS流量传感器芯片，包括设置于微加热器底部的底层介质薄膜、设置于底层介质薄膜下方的硅衬底，以及设置于底层介质薄膜上方、微加热器两侧的热电堆，所述热电堆包括上下堆叠串联的多对热电偶，每对热电偶包括上下放置的P型硅和N型硅，以及用于连接P型硅和N型硅的金属热结，所述金属热结位于P型硅和N型硅上靠近微加热器的一端；每对热电偶的P型硅和N型硅之间，以及相邻的热电偶之间均设置用于电隔离的中间介质薄膜。本发明所公开的流量传感器芯片在不增加芯片面积的情况下，增加热电偶的数目，提高热电堆的灵敏度，进而实现MEMS流量传感器芯片的信噪比和检测精度输出。 |
