一种真空隔热的MEMS流量传感器及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202110268751.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113029265A | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN113029265A | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | G01F1/68;G01F1/684;G01F1/688;G01F1/69 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 青岛华慧泽专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘娜 |
| 地址 | 266100 山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园B座402室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种真空隔热的MEMS流量传感器及其制作方法，该流量传感器包括：衬底，设有真空密闭隔热腔体；第一介质层，形成于衬底的上表面；加热元件、感温元件及金属电极，形成于第一介质层的上表面，其中感温元件对称分布在加热元件的两侧，加热元件及感温元件局部位于隔热腔体的上方；第二介质层，覆盖加热元件、感温元件、金属电极及通孔，且局部刻蚀出接触孔。本发明的MEMS流量传感器利用低压力化学气相沉积法的“保形效应”形成真空密闭隔热腔体，一方面可提高隔热腔体的隔热性能，另一方面可减少被测流体与隔热腔体之间的对流热损失，从而有利于降低器件功耗，并增大上下游感温元件之间的温差，有效提高器件灵敏度。 |
