一种基于MEMS质量流量传感器的氢气检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202120518959.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214251127U | 公开（公告）日 | 2021-09-21 |
| 申请公布号 | CN214251127U | 申请公布日 | 2021-09-21 |
| 分类号 | G01F1/86（2006.01）I;G01M3/26（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 青岛华慧泽专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘娜 |
| 地址 | 266100山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园B座402室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种基于MEMS质量流量传感器的氢气检测装置，包括第一气体管路、第二气体管路以及分别设置在第一气体管路、第二气体管路侧壁上的第一MEMS质量流量传感器和第二MEMS质量流量传感器，所述第一气体管路和第二气体管路内径相同，均具有进气端和出气端，所述出气端均连接微型气泵的进气口；所述第一MEMS质量流量传感器和第二MEMS质量流量传感器的输出端连接处理器，所述第一气体管路设置在待测环境的高处，所述第二气体管路设置在待测环境的低处。本实用新型所公开的氢气检测装置具有结构简单、成本低、响应快等优点，且可最大程度上消除环境因素的影响，提高检测的准确性。 |
