一种基于热效应的微型气体传感器
基本信息
| 申请号 | CN202110316886.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113049634A | 公开（公告）日 | 2021-06-29 |
| 申请公布号 | CN113049634A | 申请公布日 | 2021-06-29 |
| 分类号 | G01N25/22;G01N25/48;G01J5/00 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 胡国庆;田伟 | 申请（专利权）人 | 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 青岛华慧泽专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘娜 |
| 地址 | 266100 山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园B座402室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于热效应的微型气体传感器，包括由第一PCB、第二PCB和支撑体构成的腔体，所述腔体内位于第一PCB上设置红外探测器，所述腔体内位于第二PCB上设置微加热器，所述红外探测器与微加热器相对设置，且分别电连接到第一PCB和第二PCB上；所述微加热器上方设置气体敏感膜；所述支撑体上开设有进气口和出气口；所述红外探测器和微加热器均采用MEMS工艺制作而成。本发明所公开的微型气体传感器具有体积小、成本低、制备简单、容易批量生产等优势，在气体敏感膜吸附气体分子并发生反应后，可通过红外探测器检测气体敏感膜表面的温度变化，实现更快的响应速度。 |
